Panel Tipi AMC Filtre, kritik "kullanım noktası" uygulamalarında moleküler kirleticileri ortadan kaldırmak için özel olarak tasarlanmış yüksek temizlikte bir çözümdür. HEPA/ULPA filtrelerinin Fan Filtre Üniteleri (FFU'lar), temiz oda tavanları veya retikül ve wafer stoklayıcılarına yukarıda kurulu olup olmamasına bakılmaksızın, bu filtre gaz halindeki kirleticilere karşı sağlam bir engel sağlar. Özel kimyasal filtrasyon medyası kullanarak belirli AMC veya birden fazla kirleticiyi aynı anda hedef alır ve yarı iletken ve mikroelektronik üretimi için en yüksek hava saflığını sağlar.

Panel filtrelerimiz, sentetik lifler içinde yerleştirilmiş adsorbanlarla birlikte, hafif ama dayanıklı bir Alüminyum (AL) çerçeveye monte edilmiş gelişmiş plise yapısına sahiptir. Bu tasarım, hava akışına son derece düşük bir direnç sağlarken kimyasal adsorpsiyon yüzey alanını maksimize eder. Her bir birim, modern Fablardaki titiz temizlik gereksinimlerini karşılamak için gaz salınımı ve parçacık dökülmesi açısından sıkı bir şekilde test edilmektedir. Asitleri, bazları ve Uçucu Organik Bileşenleri (VOC'ler) kaynağında ortadan kaldırarak, panellerimiz wafer kusurlarını önler ve çıkış tarafındaki yüksek verimli parçacık filtrelerinin performansını etkilemekten kaçınır.

Özellikler

• Yüksek Adsorpsiyon Kapasitesi: Üstün kimyasal yükleme için çift etkili MA+MB-1000gsm karbon yoğunluğuna sahiptir.
• Ultra-Düşük Basınç Düşüşü: Enerji verimliliği için tasarlanmış olup, 0.45 m/s yüzey hızıyla < 55 Pa değerini korur.
• Çoklu-Adsorban Teknolojisi: Asitler, Bazlar ve Uçucu Organik Bileşenleri (VOC'ler) tek bir panelde hedeflemek için iyon değişim reçineleri ve emprenye edilmiş karbonu birleştirir.
• Gaz Salınımı Yapmayan & Toz Oluşturmayan: İkincil kirlenmeyi önlemek için temiz oda uyumlu malzemelerle inşa edilmiştir.
• İnce & Kompakt Tasarım: Düşük profilli derinlik, alan kısıtlaması olan FFU'lar ve işlem ekipmanlarında kolay kurulum sağlar.
• Alüminyum Çerçeve Yapısı: Hafif, korozyona dayanıklı ve yapısal bütünlük için beyaz galvanizli boyalı ağ ile donatılmıştır.
• Kanıtlanmış Verimlilik: SO2, NH3 ve O3'ün 10ppb konsantrasyonlarını < 2ppb'ye (adsorpsiyon > 90%) düşürme kapasitesine sahiptir.

Uygulamalar

• FFU (Fan Filtre Üniteleri): Temiz oda tavan ızgaralarında birincil kimyasal filtrasyon katmanı.
• Wafer & Reticle Stoklayıcıları: Depolama sırasında hassas malzemelerin korunması.
• Minienvironments: Litografi, aşındırma ve metrologi araçları için yerel AMC kontrolü.
• Proses Ekipmanları: Hedeflenmiş gaz giderimi için OEM araçlarına entegrasyon.
• İlaç Steril Alanları: Kimyasal kokuları ve havadan bulaşmayı kontrol etme.

Uygulamalar

Çok yönlülük için tasarlanan Panel Tipi AMC Filtre, wafer üretiminden HDD üretimine ve düz panel ekran tesislerine kadar yüksek teknoloji tesisleri için ideal bir seçimdir. Düz panel tasarımı, FFU'lara ve yerel mini ortamlarına sorunsuz entegrasyon için özel olarak optimize edilmiştir ve en hassas üretim alanlarında kimyasal hava kalitesini yönetmek için esnek ve ölçeklenebilir bir çözüm sunar.

Şartlar

• Filtre Tipi: Panel (PNL). Çerçeve Malzemesi: Alüminyum (AL).
• Hedef Gazlar: Asitler (MA), Bazlar (MB), Uçucu Organik Bileşenler (VOC).
• Karbon İçeriği: MA+MB-1000 gsm.
• Filtrasyon Alanı: 2.9 m2 (Asit giderimi) + 2.9 m2 (Baz giderimi).
• Hava Akış Kapasitesi: 880 CMH.
• Basınç Düşüşü: < 55 Pa @ 0.45 m/s.
• Ağ: Beyaz galvanizli boyalı ağ (Giriş/Çıkış).
• Conta: Çıkış tarafında 3mm EPDM.
• Kıvrım Sayısı: 63 kıvrım (PPI: 1.8).

Şartlar

Standart Panel Tipi AMC Filtre, 900x600x96mm boyutlarında gelir ve herhangi bir özel ekipman konutuna uyacak şekilde özelleştirilebilir boyutlar mevcuttur. 40 mm plise yüksekliğine sahip yüksek yoğunluklu plise medya ile donatılmıştır ve kompakt bir alanda neredeyse 6 m2'lik bir filtreleme alanı sunar. Uzun vadeli stabilite için tasarlanmış olan bu ürün, 10 ppb seviyelerinde amonyak veya kükürt dioksit ile karşılaştığında bile yüksek adsorpsiyon verimliliğini (%90'dan fazla) koruyarak, temiz oda ortamınızın moleküler güvenlik sınırları içinde kalmasını sağlar.

Galeri

• 

  Yüksek hassasiyetle AMC'nin giderilmesi için tasarlanmıştır.